ІМІТАЦІЙНА МОДЕЛЬ АГРЕГАЦІЇ В ТЕХНОЛОГІЇ PVD

Authors

  • О. Дерев’янко

Keywords:

комп’ютерна модель, агрегація, потенціал Морзе, хаотичні коливання

Abstract

В роботі створена імітаційна модель агрегації кластерних утворень при формувані плівок за технолгією Physical Vapor Deposition.

Published

2020-05-04