Залежність товщини металевих плівок від часу напиленням у вакуумі
DOI:
https://doi.org/10.34185/1991-7848.2018.01.01Ключові слова:
вакуум, металеві плівки, термічне нанесення в вакууміАнотація
Термічне напилення активно застосовується в мікроелектроніці і оптиці, зокрема, методом роблять напилення просвітлюють і відображають покриттів. Метою даної роботи є дослідження залежності товщини металевих плівок від часу нанесення в вакуумі. Для того, що б дізнатися не стикаються чи атоми металу при випаровуванні з молекулами залишкового газу в камері при своєму русі до скляній підкладці, а також що їх траєкторія прямолінійна, порахуємо середню довжину пробігу молекули. Якщо у вакуумній камері відстань від випарника до підкладки досить мало, в порівнянні з середньою довжиною пробігу молекули, то велика частина атомів металу сягатиме підкладки не стикаючись, з молекулами залишкового газу. Вироблено ряд замірів опору металевих плівок, отриманих при напиленні в вакуумі виконано дослідження фізичних процесів нанесення цинку з парогазової фази у вакуумі. На підставі отриманих експериментальних даних було виявлено залежність товщини металевих плівок від часу нанесення.
Посилання
Rudenko V.S. Promislova elektronIka: pIdruchnik / V.S. Rudenko, V.Ya. Romashko, V.V. Trifonyuk. – K.: LibId, 1993. 432 s.
Horovits P. Mistetstvo shemotehnIki. Chastina 2 / P. Horovits, U. Hill. – M.: Mir,1995. - 371 s.
Rayzer Yu.P. Fizika gazovogo razryada / Yu.P Rayzer – M.: Nauka, 1992. – 434s.
Horovits P. Iskusstvo shemotehniki. Chast 2 / P. Horovits, U. Hill. – M.: Mir,1995. – 590 s.
Feynman R.P. Feynmanovskie lektsii po fizike / R.P. Feynman, R.B. Leyton. – Ch.5 – M.: Mir, 1977. – 300 s.
Danilin B.S. Primenenie nizkotemperaturnoy plazmyi dlya naneseniya tonkih plenok / B.S. Danilin // Energoatomizdat, 1989. — 328 s.
Popov V. F. Protsessyi i ustanovki elektronno-ionnoy tehnologii/ V.F. Popov, Yu.N. Gorin // M.: Vyissh. shk., 1988. — 255 s.
Vinogradov M.I. Vakuumnyie protsessyi i oborudovanie ionno - i elektronno-luchevoy tehnologii/ M.I. Vinogradov, Yu.P. Maishev // M.: Mashinostroenie, 1989. — 56 s.
