Залежність товщини металевих плівок від часу напиленням у вакуумі (Сучасні Проблеми Металургії, 2019)
Термічне напилення активно застосовується в мікроелектроніці і оптиці, зокрема, методом роблять напилення просвітлюють і відображають покриттів. Метою даної роботи є дослідження залежності товщини металевих плівок від часу нанесення в вакуумі. Для того, що б дізнатися не стикаються чи атоми металу при випаровуванні з молекулами залишкового газу в камері при своєму русі до скляній підкладці, а також що їх траєкторія прямолінійна, порахуємо середню довжину пробігу молекули. Якщо у вакуумній камері відстань від випарника до підкладки досить мало, в порівнянні з середньою довжиною пробігу молекули, то велика частина атомів металу сягатиме підкладки не стикаючись, з молекулами залишкового газу. Вироблено ряд замірів опору металевих плівок, отриманих при напиленні в вакуумі виконано дослідження фізичних процесів нанесення цинку з парогазової фази у вакуумі. На підставі отриманих експериментальних даних було виявлено залежність товщини металевих плівок від часу нанесення.
Keywords: вакуум; металеві плівки; термічне нанесення в вакуумі